A.I.S.

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ais_s2 AY_JEOL JEM 1400 AIS-Plattform 23vibration-isolation-platformPlateforme-antivibratoire

AIS™

Informations :

Le système d’isolation actif AIS™ est un système électropneumatique actif contre les vibrations avec régulation efficace en temps réel. Il se comporte comme un actuateur destiné aux plus hautes exigences en termes d’isolation, de temps de stabilisation et en maintien du niveau.

  • Isolation électropneumatique active sur 6 degrés de liberté (6 DOF)

  • Isolation efficace des très basses fréquences

  • Compensation des vibrations en temps réel, sans amplification de résonance

  • Positionnement précis du système (vertical et horizontal à ± 10µm)

  • Ajustement automatique en temps réel

  • Logiciel WinSNI/WebVisu intelligent de paramétrage et de diagnostic du système

  • Chaque régulateur possède un microprocesseur qui intègre des capteurs ultraprécis de position, de pression et d’accélération

  • Aucun signal Feedforward requis

  • Aucune perturbation électromagnétique, calorifique et faible consommation électrique, comparé aux actuateurs électromagnétiques.

Domaines d'application :

Isolation vibratoire optimale des machines de mesures ou d’essais de très haute précision (installations laser, microscopes électroniques, appareils de lithographie, …) ainsi que les machines d’inspection ou de production du domaine des semi-conducteurs.