Active Isolation System AIS™

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Active Isolation System AIS™

Beschreibung

Aktive elektronisch-pneumatische Schwingungsisolierung mit leistungsfähiger Echtzeitregelung für höchste Anforderungen an Isolierwirkung, Abklingzeit und Niveaukonstanz.

  • Aktive elektronisch-pneumatische Schwingungsisolierung mit bis zu 6 geregelten Freiheitsgraden

  • Luftfedern arbeiten als passive Luftfedern und als Aktuatoren

  • Hochwirksame Schwingungsisolierung ohne Resonanzüberhöhung

  • Optimale Positionsgenauigkeit in vertikaler und horizontaler Richtung (± 10µm)

  • Sehr leistungsfähige Echtzeitregelung

  • Jeder Regler verfügt über einen Mikroprozessor und integrierte, hochauflösende. Sensorik für Position, Druck und Beschleunigung

  • Bedienungsfreundliche, intelligente WinSNI/WebVisu-Software für Inbetriebnahme und Diagnose

  • Kein Feedforward-Signal erforderlich

  • Keine störende Wärme er zeugungen, Magnetfeld Veränderungen oder hoher Strom verbrauch wie

Anwendungsbereiche

Optimale Schwingungsisolierung für hochdynamische Messund Prüfmaschinen, Laser anlagen, hochauflösende Mikroskope sowie Inspektions- und Produktionsmaschinen in der Halb - leiterindustrie.