Active Isolation System AIS™
Beschreibung
Aktive elektronisch-pneumatische Schwingungsisolierung mit leistungsfähiger Echtzeitregelung für höchste Anforderungen an Isolierwirkung, Abklingzeit und Niveaukonstanz.
Aktive elektronisch-pneumatische Schwingungsisolierung mit bis zu 6 geregelten Freiheitsgraden
Luftfedern arbeiten als passive Luftfedern und als Aktuatoren
Hochwirksame Schwingungsisolierung ohne Resonanzüberhöhung
Optimale Positionsgenauigkeit in vertikaler und horizontaler Richtung (± 10µm)
Sehr leistungsfähige Echtzeitregelung
Jeder Regler verfügt über einen Mikroprozessor und integrierte, hochauflösende. Sensorik für Position, Druck und Beschleunigung
Bedienungsfreundliche, intelligente WinSNI/WebVisu-Software für Inbetriebnahme und Diagnose
Kein Feedforward-Signal erforderlich
Keine störende Wärme er zeugungen, Magnetfeld Veränderungen oder hoher Strom verbrauch wie
Anwendungsbereiche
Optimale Schwingungsisolierung für hochdynamische Messund Prüfmaschinen, Laser anlagen, hochauflösende Mikroskope sowie Inspektions- und Produktionsmaschinen in der Halb - leiterindustrie.